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產(chǎn)品展示

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
產(chǎn)品描述:

KYKY-EM8200超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,采用全新電子光學(xué)設(shè)計(jì),基于減速樣品臺(tái)、新一代
低像差物鏡、Inlens探測(cè)器等技術(shù),集成豐富的圖像處理功能,為新能源、半導(dǎo)體等用戶(hù)提供全新解
決方案。

  • 產(chǎn)品型號(hào)

  • 更新時(shí)間

    2025-05-12
  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 瀏覽次數(shù)

    207
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一、KYKY-EM8200場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品介紹

KYKY-EM8200超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,采用全新電子光學(xué)設(shè)計(jì),基于減速樣品臺(tái)、新一代

低像差物鏡、Inlens探測(cè)器等技術(shù),集成豐富的圖像處理功能,為新能源、半導(dǎo)體等用戶(hù)提供全新解

決方案。


二、KYKY-EM8200場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品特點(diǎn)

1、高分辨電子光學(xué)系統(tǒng)

新一代低像差物鏡

減速樣品臺(tái)

低壓高分辨成像


2、高校便捷的用戶(hù)體驗(yàn)

全新的用戶(hù)界面設(shè)計(jì)

豐富的軟件測(cè)量功能

光學(xué)導(dǎo)航

著陸束流檢測(cè)


3、高性能信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)

低噪聲Inlens探測(cè)器

自動(dòng)推入式背散射探測(cè)器

豐富的探測(cè)器拓展接口


三、KYKY-EM8200場(chǎng)發(fā)掃描電鏡 技術(shù)參數(shù)


KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

四、KYKY-EM8200場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品功能

01 二次電子探測(cè)器
· 高信噪比,高帶寬 · 大景深,表征樣品表面形貌結(jié)構(gòu)

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡


02 不同探測(cè)器同時(shí)成像
· 顯示SE,BSE 雙通道圖像

· 可任意設(shè)置不同探測(cè)器的信號(hào)混合比例

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡


· BSE探測(cè)器,反映樣品表面的成分特征

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡


03 陰極熒光成像

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

04 大圖拼接
· 可連續(xù)自動(dòng)采圖,避免人工操作的繁瑣和誤差。 · 實(shí)現(xiàn)多個(gè)圖像準(zhǔn)確拼接,生成高分辨率的大圖。

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

05 粒度分析
采用深度學(xué)習(xí)的復(fù)合圖像處理算法,自動(dòng)識(shí)別比例尺,精準(zhǔn)識(shí)別圖像中的顆粒,多種形態(tài)參數(shù)的統(tǒng)計(jì)與導(dǎo)出,更全面的進(jìn)行粒度
和粒形統(tǒng)計(jì)。

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

06 關(guān)鍵尺寸測(cè)量
·具備距離,角度,水平線(xiàn)/垂直線(xiàn)等豐富的圖像測(cè)量功能

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

五、定制能力

1、電子束曝光(EBL)

基于掃描電鏡的電子束曝光系統(tǒng)(EBL),能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積,從而實(shí)現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的電子束掃描控制技術(shù),支持靈活多樣的圖案設(shè)計(jì)和精確控制,不僅具有電子束曝光功能,還保留了原SEM 的觀測(cè)功能,這使得用戶(hù)可以在同一臺(tái)設(shè)備上完成樣品的觀測(cè)和加工,提高了工作效率和便利性。

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

2、真空互聯(lián)

·真空互聯(lián)掃描電鏡用于對(duì)樣品車(chē)傳遞過(guò)來(lái)的產(chǎn)品進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè),分析其表面晶粒形態(tài)大小分布等信息,評(píng)估其薄膜的膜質(zhì)量情況。

·真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理,并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進(jìn)行觀測(cè)。

·自動(dòng)檢測(cè)和反饋系統(tǒng),對(duì)樣品標(biāo)簽、位置狀態(tài)、樣品交接進(jìn)行監(jiān)控和記錄,可以清晰的了解樣品傳輸狀況。

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

·超快電鏡利用激光、電場(chǎng)等外界刺激使樣品達(dá)到激發(fā)態(tài)。使用時(shí)間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電鏡燈絲,產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進(jìn)而收集表面逸出的二次電子對(duì)激發(fā)瞬態(tài)進(jìn)行表征。

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

六、應(yīng)用示例

KYKY-EM82系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

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